技術文章
TECHNICAL ARTICLES
更新時間:2026-01-06
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(1)注意閱讀產品說明書及有關資料
(2) 注意輕拿輕放妥善保管
MFM/MFC比較精密,應避免受到撞擊和強烈振動。產品不用時注意放在較好的環境中妥善保管。
(3) 注意系統設計
用戶購買MFM/MFC后,往往要組建一個系統。建議在系統設計時,不要僅僅考慮功能的實現,還要考慮系統的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易維護性﹑易擴充性等因素。以下給出幾點具體建議:
A. 注意加裝過濾器,以凈化氣源,延長MFM/MFC的使用壽命。
B. 對于反應系統,建議在MFC的出氣端加裝單向閥,以防止異常情況下反應物倒流損壞 MFC。
C. 對于高壓系統,應在MFC的下游加裝背壓閥(或其它節流裝置)及壓力表,以便于保證MFC的工作壓差。
D. 對于硅烷這樣的遇空氣易形成結晶的氣體,應特別注意系統的密閉性(檢漏時不要忽視減壓器),必要時設計吹洗旁路,隨時進行氮氣吹洗或正壓保持。
E. 對于要求比較高的氣路系統, 注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。對于使用有害氣體的系統,必須嚴格檢漏。氣路柜應有排風系統, 防止對人員和設備的損傷。
F. 有高頻源的系統應注意屏蔽并特別注意處理好接地問題,例如采用單點接地。
G. MFM/MFC的安裝位置應易于裝卸﹑檢測﹑調零,并安全可靠。
H. 對可靠性要求系統,應注意冗余設計。
(4) 注意正確使用操作
對于比較復雜的系統或使用有害氣體的系統,應當制定完善的安全操作規程, 防止發生誤操作。
(5) 注意使用氣體與流量計的密封材料相適應
流量計通常采用的密封材料是氟橡膠,能適合大多數氣體的使用,包括HCL這樣的強腐蝕性氣體。但對于氨氣,必須使用耐氨橡膠;對于有機溶劑類氣體,如丙酮、甲苯等,必須使用硅橡膠;對于使用三氯化硼、三溴化硼等強腐蝕性介質,必須使用四氟密封或金屬密封的流量計。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。
(6) 注意定期標定
質量流量計原則上應當定期標定。
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