第九屆國際碳材料大會，上海新國際博覽中心N1、N2，2個展館人頭攢動。在精密制造和新能源材料展區，一臺臺看似不起眼的灰色儀器吸引了許多專業觀眾的目光——它們是氣體質量流量計。

碳材料產業鏈的精密制造，從金剛石薄膜沉積到硅碳負極材料制備，精確的氣體流量控制直接影響著最終產品的性能和質量。

一 開幕盛況

第九屆國際碳材料大會暨產業展覽會于2025年12月9日在上海新國際博覽中心拉開帷幕，大會以“材料創新驅動產業變革"為主題，預計將吸引超過50000名專業觀眾。

由DT新材料和中國超硬材料網聯合主辦。

展館分為N1半導體碳材料館、N2能源與裝備碳材料館，聚焦碳材料從基礎研究到產業化應用的全鏈條展示。

現場近400家展商中，不乏像愛拓利電子這樣專注于為精密制造提供關鍵測量與控制技術的企業。

二 碳材料制造的“氣體脈搏"

在碳材料產業鏈中，無論是CVD金剛石生長還是硅碳負極材料的制備，氣體流量控制都是核心工藝環節。

化學氣相沉積（CVD）是制造高品質金剛石薄膜的關鍵技術，而其中甲烷等氣源流量的精確控制直接影響金剛石膜的結晶質量和純度。

同樣在新能源領域，硅碳負極材料制備過程中，硅烷、乙炔等工藝氣體的精確配比與動態控制也至關重要。

本屆展會上，氣體流量智能控制系統成為多個展商重點展示的技術方向之一。這類系統通過精準控制氣體流量，保障碳制品工藝過程的一致性和穩定性。

三 愛拓利的技術實力

在氣體流量控制領域，愛拓利展示了其從MFC300、MFC330，MFC350到MFC600等多個系列的氣體質量流量計產品。

以專為微小流量場景設計的MFC300系列為例，它采用MEMS流量傳感器，并自帶溫度和壓力補償功能。其測量準確度可達±0.5%F.S.，而傳感器響應時間僅為5毫秒。

愛拓利流量計的核心優勢在于其高精度與高穩定性。以MFC600系列為例，準確度可達±0.2%F.S.，線性度為±0.1%F.S.，重復精度更是達到±0.05%F.S.。

這種高精度特性在動態氣體配氣過程中至關重要，可以確保各組分流量的精確控制，從而保證最終混合氣體濃度的準確性。

四 現場焦點應用

在半導體材料展區，愛拓利展示了其氣體流量計在擴散工藝中的應用案例。在半導體和光伏制造業中，擴散爐是核心設備之一，用于實現精確的摻雜和薄膜生長。

愛拓利氣體質量流量計和控制器通過對工藝氣體的精準測量與控制，直接決定了擴散工藝的成敗與產品的最終性能。

例如，MFC330系列可提供低至0-5 SCCM的微小流量規格，確保摻雜劑濃度和分布滿足嚴苛的工藝要求。

在新能源材料制備區域，愛拓利展示了針對硅碳負極材料制備的解決方案。硅碳負極制備中需要處理硅烷(SiH?)、乙炔(C?H?)等高風險工藝氣體，這對氣體流量計提出了特殊要求。

五 行業趨勢與未來展望

氣體流量控制在碳材料產業鏈的重要性日益凸顯。隨著工業過程對氣體混合物精度要求的不斷提高，氣體流量計技術也在持續進步。

未來趨勢顯示，智能流量計將能夠實現遠程監控、預測性維護和自適應控制，進一步提升動態氣體配氣儀的智能化水平。

愛拓利流量計系列產品提供多種通信接口，包括模擬信號、RS232、RS485、RS422和CAN總線，便于與主控系統集成，實現遠程監控和自動化控制，這些功能契合了未來智能化發展趨勢。

碳材料大會同期還將舉辦2025金剛石年會、碳纖維裝備制造大會、新能源碳材料與電池大會等應用端會議，深入探討碳材料在半導體、新能源、裝備等領域的創新發展。