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產品簡介
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愛拓利具有高水平的產品設計、結構、硬件和軟件研發水平， 擁有自主知識產權的氣體質量流量計及控制器核心部件（高精度氣體質量流量傳感器和高穩定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產設備，是國內少數能夠全面自主研發生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業之一。“以關鍵技術自主研發為核心使命、以市場為導向"，愛拓利致力于為用戶提供精準、穩定、可靠的標準化產品、定制化服務和解決方案。
MFM330 熱式氣體流量計傳感器基于毛細管柱熱式傳感器，毛細管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內部質量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。
需要預熱： 5min 內達到 95% 流量精度，最長預熱30min
| 產品特性： | ||
◆無可移動部件 | |||
| ◆支持多種通訊協議 | |||
| ◆容易安裝及維護 | |||
| ◆高精度、高穩定性、非常低的零漂 | |||
| ◆可測多種氣體 | |||
| ◆一體液晶顯示和按鍵操作 | |||
| ◆內置溫度和壓力傳感器 | |||
| ◆同時顯示氣體瞬時流量和累積流量 | |||
應用領域： | |||
技術參數： | ——分析儀器 | ——干刻（RIE/DRIE） | |
| 流量規格： | 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM | ——生物技術 | ——氣相色譜分析 |
——激光焊機 | ——過程自動化 | ||
準確度： | ±0.5%F.S. | ——真空鍍膜 | ——燃料電池 |
| 重復精度： | ±0.2%F.S. |
產品尺寸： | |
流量測量范圍： | 0.5%~100%F.S. |
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使用溫度： | -20~65℃ | ||
| 使用濕度： | 0~98%（?凝露） | ||
Max耐壓： | 3MPa | ||
| 響應時間： | <1s | ||
| 供電電壓： | 15~40VDC | ||
| 功率： | <1.2W | ||
| 通訊方式： | RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA | ||
| 氣路部件材質： | SUS304、SUS316L | ||
密封件材質： | 氟橡膠 | ||
氣路接頭： | 快擰、快插、卡套、VCR | ||
外接顯示器尺寸： | |||
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電氣連接：DB9 | |||
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產品造型： | |||
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