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產品簡介
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蘇州愛拓利是國內極少數能夠自主研發生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業。其產品的核心部件毛細管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥均已實現國產化、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能趕超進口同類產品。愛拓利目前已為多家重點大學實驗室、科研院所、精密分析儀器廠家、生物制藥廠家及、環保設備及光電設備廠商提供流量計/控制器的軟硬件配套產品。通過廣泛的應用，愛拓利流量計產品的*性、重復性和穩定性得到了充分的驗證。愛拓利的愿景是成為一家在流體測控領域具有影響力的創新型企業。我們專注于擁有自主知識產權、純國產化的核心零部件的開發，以期打破進口產品的技術壟斷，擺脫對進口品牌的依賴，大力提升*制程和科學儀器中國產化替代水平和應用規模，致力于早日打造出高品質且性能可靠的流體測控產品，為解決我國基礎科學及*制程領域所面臨的“卡脖子"困境貢獻一份綿薄之力。
小流量氣體質量流量計MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產品特點
超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應
高重復性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無需預熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
主要參數
介質要求 潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. （1:500）
準確度 ±0.5%F.S.
重復精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應時間 5ms
控制響應時間 300ms
預熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
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服務電話：
18168878188
蘇州市吳江區柳胥路99號半導體智能制造創新港
sales@aitoly.com
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