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產品簡介
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愛拓利質量流量計、控制器全系產品具備自主知識產權，熱式 / 層流差壓式流量傳感器、高精度微型比例閥及核心生產設備等關鍵組件100% 自主可控，全面實現國產化。
公司具備ISO9001質量管理和制造認證，通過標準化生產、規范化管理，愛拓利持續穩定地為客戶提供高質量的合格產品；并根據客戶應用場景提供定制化的產品和解決方案，滿足多種需求。
產品系列：
熱式氣體質量流量計/控制器，層流差壓式氣體質量流量計/控制器
產品應用領域
半導體，光伏，光纖，FPD，真空鍍膜，新能源電池，分析儀器，生物制藥，制配氣、化工、食品、工業自動化等領域
氣體種類：90+種氣體可選
測量范圍：0.5%F.S. – 100% F.S. (1:200)
控制范圍;：1%F.S. – 100% F.S. (1:100)
準確度： 1% F.S.
工作壓差：0-1 MPa
耐壓：3 MPa
控制響應時間<5s
閥門類型:常閉閥
預熱時間：5 min（T95)
量程范圍：0-2 sccm…30slpm
顯示屏：內置/外接顯示屏可選
通訊方式：0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN
標況:20℃， 1atm
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服務電話：
18168878188
蘇州市吳江區柳胥路99號半導體智能制造創新港
sales@aitoly.com
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