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光伏行業
光伏行業
發布時間:2025/1/3 10:29:59
在 PECVD 過程中,需要精確配比反應氣體,如硅烷(SiH?)、氨氣(NH?)等。氣體質量流量控制器MFC能夠準確測量和控制這些氣體的流量,確保薄膜的厚度、均勻性和光電性能達到理想狀態,從而提高光伏電池的轉換效率和穩定性。
PVD(物理氣相沉積):PVD 過程中,也需要對各種反應氣體進行精確控制。氣體質量流量控制器可以根據工藝要求,穩定地提供所需的氣體流量,保證沉積薄膜的質量和性能,滿足光伏電池的生產需求。
應用產品
MFC300-03A
氣體質量流量控制器
MFC300-03D
氣體質量流量控制器
MFC330-05E
氣體質量流量控制器
MFC330-05S
氣體質量流量控制器
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