高精度氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

    產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

    主要參數

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±0.5% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間  <3 秒

預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門 常閉式

MFC330氣體流量計廣泛應用于以下領域：

半導體制造：用于控制工藝氣體（如氮氣、氬氣、氫氣）的流量。

光伏產業：在薄膜太陽能電池制造中，精確控制氣體流量。

化工行業：用于反應氣體流量控制，確保反應過程穩定。

生物制藥：在發酵、細胞培養等過程中，控制氧氣、二氧化碳等氣體流量。

環境監測：用于氣體采樣和分析系統，確保采樣流量準確。

實驗室研究：在科研實驗中，精確控制氣體流量。

食品和飲料行業：用于氣體混合和包裝過程中的流量控制。